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IPEX840/860系列工业级准分子激光器
IPEX840/860 Series Industrial Excimer Lasers
商品货号:ECS002675
商品品牌:LMI
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详细介绍

IPEXTM 840/860系列工业级准分子激光器

应用于电子、通信、半导体、医疗设备和脉冲激光沉积的工业级准分子激光器

ª 采用ICONTM技术,延长气体寿命,降低成本

ª EasyClean自动密封镜片功能,可在清洗更换镜片时密封激光腔

ª 可选高亮度光学元件,来满足要求小发散角和长相干长度的应用

ª 高稳定镜片支架可获得极高的光束指向精度

ª 易于集成到工业加工系统

IPEX-840/860系列准分子激光器性能优越、可靠性高,广泛适用于使用要求高、生产负荷重的各种工业制造领域,如电子、半导体和医疗设备制备以及脉冲激光沉积(PLD)等应用。由于采用了ICONTM(镍基集成陶瓷)技术,IPEX系列激光器既降低了运行成本,又能提供优秀的光学性能。对于需要长工作光路和小发散角(激光雷达),或需要长相干长度(FBG刻写)以及需要改进聚焦性能的场合,可以选择高亮度(非稳腔)镜片。IPEX-840/860系列激光器具有易于使用、便于维护和运行经济的特点,它将高精密准分子激光加工、低运行成本和高运行时间很好地结合在一起,是一款不可多得的优秀的准分子激光器。

特点

ª ICON激光腔

ª EasyClean自动密封镜片功能

ª 先进的镜片支架

ª 专利的腔镜固定技术

ª 能量稳定控制

ª 预电离

ª 内部气体过滤设备

优点

ª 气体寿命长,更换时间间隔长,运行成本低

ª 简化了光路维护,填充气体和钝化效果保持长久

ª 200μrad指向稳定性

ª 镜片清洁重装后不需要重新调节

ª 快速、精确、稳定的能量控制,可选内、外触发和Burst工作模式

ª 优异的能量稳定性,≤1.5% (KrF)

ª 去除微粒,保持主镜片洁净

规格

激光器规格参数详见产品手册或者咨询我司销售。

商品标记

www.henamasr.com
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