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LSV3-紧凑准分子激光微加工系统
商品货号:ECS002619
商品品牌:Optec
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详细介绍

LSV3-小型微加工系统

极短的准分子激光脉冲输出10-20mJ,相当于兆瓦的峰值功率,可以应用在快速成型,微加工和微电子领域。
可用于生物芯片、聚酯、玻璃、硅片、薄金属、陶瓷等材料的加工。
相比其它准分子激光器ATLEX的优势:
  • 脉宽更短(4~6ns),尖峰能量密度更高.更适合高质量的材料加工
  • 空间相干性更好,空间长度>1~2mm
  • 更优秀的光束质量,使得基于微机械加工系统的ATL激光器能满足大部分材料加工的要求
  • 光束定向更稳定.在大于20~60分钟的长时间连续操作下,角偏差保持在200 µm 以内
  • 德国 ATL与比利时OPTEC合作开发的微加工系统,是目前世界范围内最顶尖的小型准分子微加工系统。
特性和规格:

机器类型
LSV3头部含n.a。0.2 193nm镜头, 同轴照明及颜色聚焦。TTL 检视。
结构
黑色亚光处理,焊接钢框架,辉长岩基地,桥形结构,蜂巢形光学控制台,光学滑轨。
激光源
ATL Atlex准分子激光。
能量控制
AT4010 5-85%手动,外加通门控制
面罩的光束控制
动态系统镜面
面罩
机械线性顺序选择器
德马格设计
德马格开关:10X & 16X
目标成像分辨率
1.5μm
目标区
达10J/cm2
零件支撑
TBD
零件移动
100×100mm 运动区域,150×150mm 选择范围
位置重复性
1μm
速度
200mm/s(受软件限制)
系统控制
工业PC, A3200 控制器,过程功率2010
Beath路径
管式,冲刷式
安全性
互锁功能,符合CE标准,轻型塔式

 
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